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光学仪器及精密测量技术
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sgh920
发表于 2010-1-27 20:46:23
霍尔离子源
我们用的是国产霍尔离子源,当换离子源灯丝后,镀制的第一罩片子脱膜,之后再镀就没问题了。不知为什么?请各位高手指教,谢谢!
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霍尔离子源