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我的设备是不锈钢材料,要求真空度高。最近发现有漏点,可就是找不到,真急人。恭请大侠帮助一二。
高反膜镀前清洗工艺
各位大佬,好久没上来了,今天有难题要请教: 本人在做高反膜(金属膜或介质膜)时,镀前有做擦拭及超声波清洗,镀后都会产生发蒙或未清洗干净的痕迹.良率才30~40%呀.痛苦!!! 特请教
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本人刚学磁控溅射,如果资料不好,请见谅。
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发个小游戏大家看看,我只打到这里.希望大家说说都打了几关
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我现在用的南光机利用的光学控制,现在出现下述问题麻烦大家给分析一下:
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各位高手,我是用磁控溅射镀cr/cu/cr电子薄膜,cu的厚度在2微米左右,玻璃基片为100度溅射时膜面轻微氧化;120度溅射时,膜面是白蒙蒙的一大片,请问,这白蒙蒙是氧化吗,氧化机理如何,谢谢!
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[此贴子已经被作者于2005-8-19 13:32:47编辑过]
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