楼主: JZNT

镀出的产品有白雾,求助!!!!!

 火... [复制链接]
发表于 2010-6-8 08:50:42 | 显示全部楼层
我总觉得这个跟环境还有真空度关系比较大。。。不像基底腐蚀。。。
发表于 2010-6-9 10:28:40 | 显示全部楼层
确认一下真空计测量是否准确。
发表于 2010-6-13 12:12:33 | 显示全部楼层
发雾,没事
 楼主| 发表于 2010-6-14 14:38:50 | 显示全部楼层
整个表面都是白的,没法使用呀。
发表于 2010-6-18 16:35:18 | 显示全部楼层
ZK9也很容易出现这样的白雾,不知是为何?
发表于 2010-6-22 08:29:04 | 显示全部楼层
那就是材料问题,就是光学加工的问题了
 楼主| 发表于 2010-6-22 13:51:13 | 显示全部楼层
材料和基片在别的机器上都是没有问题的!
发表于 2010-6-23 08:56:16 | 显示全部楼层
是不是一块一块的
 楼主| 发表于 2010-6-28 16:07:11 | 显示全部楼层
是环形的,
发表于 2010-6-29 08:09:31 | 显示全部楼层
如果同样的材料在其它设备镀没问题,那就是你设备电子枪\离子源的问题了
发表于 2010-6-29 18:35:37 | 显示全部楼层
楼主的问题解决了吗?

镀膜前清洗和镀膜腔的洁净度,真空度有很大嫌疑啊。
 楼主| 发表于 2010-7-1 08:48:53 | 显示全部楼层
我们也怀疑真空有问题,但是检漏没有发现有漏的,而且真空显示是好的。
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