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[科普] SiO2 中频溅镀时通入N2作用？

火... [复制链接]

发表于 2010-9-9 12:02:34 | 显示全部楼层 |阅读模式

SiO2 中频溅镀时通入N2作用？
为什么中频磁控溅镀 SiO2 通入N2. 有什么作用？请教

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楼主| 发表于 2010-9-13 22:12:56 | 显示全部楼层

没人理会哦

留下邮箱，静待您的指教stone.zheng@hotmail.com

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发表于 2011-3-10 15:38:57 | 显示全部楼层

使用的什么靶材？SiO2陶瓷靶？

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发表于 2012-4-22 22:25:34 | 显示全部楼层

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