[讨论]阵列波导光栅(AWG)

cherngwoei · 发表于 2003-9-23 19:19:00

有谁在研发阵列波导光栅(Arrayed Waveguide Grating, AWG)？可在此讨论?

aliangking · 发表于 2003-9-29 04:43:00

我看过这方面很多资料，不过没动手做过

unielite · 发表于 2003-10-3 05:02:00

我也正在看这方面的资料
不过没有实验条件的说

cherngwoei · 发表于 2003-10-4 22:59:00

要设计AWG非常简单,只要有 Optiwave 的 WDM_PHASAH software 就可.制造方面就要有制造 waveguide 的设备如 (flame hydrolysis deposit, FHD), (reactive ion etching, RIE). 因为,我没有这些设备.所以,我用 ion exchange 技术来制造.但,还没成功.请问那里有这些设备?

aghost · 发表于 2003-10-6 05:43:00

cherngwoei 你是哪里地？你们搞了多长时间了？我有个同学在做这个东东

cherngwoei · 发表于 2003-10-6 19:15:00

我来自马来西亚，已有两年半，可以和你的同学联络吗?

cherngwoei · 发表于 2003-10-11 20:07:00

liumengdrago: sorry can’’t type in chinese. Njstar exdate!!
Can share with u but the file too big around 25Mb. How to send to u? N u need toggle key to do simulation.

liumengdrago · 发表于 2003-10-12 00:22:00

我的邮件：liumenghao1@163.com

cherngwoei · 发表于 2003-10-14 19:03:00

liumengdrago: i already send to you the file. have you receive it?

cherngwoei · 发表于 2003-10-14 19:15:00

Hi, i find a tesis related to AWG. u all can download at this website.

https://engineering.purdue.edu/ECE/Research/TR/2002pdfs/TR-ECE-02-05.pdf

litlit · 发表于 2003-10-16 22:57:00

  离子交换的确是一种比较简单而且方便的波导制备方法，但是用于AWG制作困难较大，损耗非常大，而且有比较强的PMD和PDL，因此综合性能较差。比较成熟的工艺一般是基于硅基二氧化硅材料制作的，因为与光纤材料相近，因此insertion loss更小，同时工艺成熟。另外InP基地材料和SOI材料也有实用的商品在卖。特别是SOI材料宜于同光发射和光接收机集成，是OEIC最理想的材料，但是由于SOI材料折射率差太大，因此，多模效应明显，给实用和设计都带来了很多困难。
  我觉得如果对一个AWG设计，你的目的单单是用于实用化生产的话，采用Optiwave的软件是很好的选择，但是如果你是用来科学研究的话，比如你想改进某些特性（比如要减小PDL，获得平坦化的频谱响应，降低色散，减小插损，降低串扰等优化设计），用这种商业软件就有点束手束脚了。比较好的方法是自己编一个软件，对一个AWG器件，采用通常的BPM方法就可以了。在处理自由扩散区的时候最好使用wide angle BPM方法。
  至于你提到工艺设备，对一个集成波导器件来说，必须用到的有光刻机、PECVD（或FHD）、ICP机等。对于比较核心的设备PECVD和ICP有两种选择，一种是国产的，一种是进口的，进口的主要的产地有oxford和STS两家公司，他们的仪器比较贵（每台大概在12晚dolar左右），但是性能very perfect，而且他们有独立的实验人员，你要得到什么样的波导，他们会把现成的工艺参数告诉你，不用你自己去摸索了。国产的你知道，很便宜，但是工艺参数要你自己摸索，这可是一个大的工作量。至于FHD用的远没有PECVD广泛，主要是其薄膜均匀性差，但是沉积舒服非常快，价格比较便宜，我知道韩国和台湾都有公司卖的。
很希望和各位就有关设计加工过程进行交流，我的email是；
songjun@coer.zju.edu.cn
特别我对cherngwoei的离子交换波导用于AWG很感兴趣。希望与你交流。

下面引用由cherngwoei在 2003/10/04 02:59pm 发表的内容：
要设计AWG非常简单,只要有 Optiwave 的 WDM_PHASAH software 就可.制造方面就要有制造 waveguide 的设备如 (flame hydrolysis deposit, FHD), (reactive ion etching, RIE). 因为,我没有这些设备.所以,我用 ion ...

cherngwoei · 发表于 2003-10-17 19:00:00

litlit: 你好！从你的评论可知你是位高手。你说的没错，如要减小PDL，获得平坦化的频谱响应，降低色散，减小插损，降低串扰等优化设计，用optiwave软件就有点束手束脚。因为我是第一个在马来西亚，研究与制作AWG，所以还没想改进某些特性，想常试简单的方法先。之前想用PECVD，但时常出问题。

也很希望和各位就有关设计加工过程进行交流，我的email是:hengcw@vlsi.eng.ukm.my

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