请教下膜厚仪数值跳动厉害的问题

xiaojiang007 · 发表于 2011-2-14 18:43:25

机器用的是光控，现在出现膜厚仪数值跳动厉害，比如说数值要调到100的话，会无法稳定，且上下起伏跳动，数值还很大，请问什么原因造成，该怎么解决，对镀摸的准确度是否会有影响，目前就是感觉很难控制厚度

wlinliu · 发表于 2011-2-14 22:02:04

电子枪电流变化大不大

resees · 发表于 2011-2-15 14:13:56

一般来说光源的稳定性对其影响很大，国产的光控光调制上面也会影响他，特别是光电倍僧管对杂散光及其它非光源光对其的影响，排除他们后就是光控的锁相放大有问题了

xiaojiang007 · 发表于 2011-2-15 17:35:40

电子枪电流变化不大,还有朋友提到的光源的稳定性指的什么呢难道是光源有问题吗?可否具体说说我是新手谢谢

xml1227552 · 发表于 2011-4-10 08:51:07

guangyuan

zqcotccs · 发表于 2011-4-10 19:56:53

电子枪束流是否稳定？电子枪能量设置与速率设置是否合理？晶振片是否是清洁的？晶振座内是否有赃物或连接不好？P I D设置是否合理等

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