关于膜裂的问题

宇轩 · 发表于 2011-2-24 15:56:11

在第一面镀40层以上介质膜，在镀完第二面后，第一面的膜层会出现膜裂的现象。就是表现在倾斜一定的角度观察，会发现镀膜片上有类似很多道划痕。但实际上是由膜层应力造成的膜裂。请问这类问题需要怎么改进？

lmclyq · 发表于 2011-2-24 22:28:32

wlinliu · 发表于 2011-2-25 17:39:58

炉内温度呢？是不是有点高？

shuangzixing · 发表于 2011-2-25 18:00:21

我们也发生过类似情况

宇轩 · 发表于 2011-2-26 08:29:30

烘烤温度在270度，在镀棱镜的时候，膜层的厚度达到6000NM以上时，取片后会发现边角有轻微的脱膜现象。棱镜上有粘高温胶带，棱镜的脱膜时高温胶带放气造成的还是镀膜工艺有问题呢？镀膜的工艺是有国产霍尔离子源辅助，阳极电流5A，压强采用的是恒定压强，也就是高/低折射率材料都是控制在1.7*10-2pa.

optikma · 发表于 2011-2-26 11:04:52

关注。。。

yuvia_ye · 发表于 2011-2-26 11:32:18

炉内温度是多少？第一个面镀的什么膜啊？

yuvia_ye · 发表于 2011-2-26 11:34:09

我们生产时有出现粘高温胶高温时镀制，有放气，挡边部分发白现象

marcsle · 发表于 2011-3-2 09:03:12

一、能否改工艺，先镀后面，然后才镀制40层膜，6000nm的膜毕竟太厚了，又是镀在棱镜上，应力太大了
二、镀完后把棱镜放入恒温箱恒温一段时间
三、把烘烤温度降下来，270度还加离子源，温度过高了
四、不知你的40层膜是什么氧化物膜料？如果是TI3O5之类的，你用恒压控制，不妥，能否改做流量控制

以上请参考，多谢

wlinliu · 发表于 2011-3-3 04:34:43

6000nm的膜太厚了,可能温度影响的,或许是因为太厚了,而不连贯的多次镀膜造成的影响

xiao2011 · 发表于 2011-6-3 19:13:46

chengqinshun · 发表于 2011-6-5 22:21:44

xiao2011 发表于 2011-6-3 19:13

先镀一层AL2O3来抵消内应力,镀玩膜后让他自然冷却

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