小口径干涉仪测量大直径镜片的平行度！

kitten · 发表于 2011-3-11 23:01:40

有没有哪位有用小口径干涉仪测量大直径镜片的方法介绍啊！现在我们一台干涉仪（zygo类式). 口径是25.4mm。但是我的镜片是25mm的。想测量平行度（两个面的斜角). 测量时候的问题是镜片把参考面整个挡住了，没有参考光，所以无法测量。各位有什么高见啊，采用局部显示测量的方法（就是指将镜片的一半放置在光路中）可以吗？
谢谢了！

qiao11lang · 发表于 2011-3-12 00:59:58

应该不行……

kitten · 发表于 2011-3-12 09:52:48

为什么呢？谢谢！

lhnero · 发表于 2011-3-12 13:18:28

具体要去了解干涉产生的条件

小成 · 发表于 2011-3-12 20:36:26

是可以测得，但是要计算一下

kitten · 发表于 2011-3-15 10:20:33

楼上的朋友，能说的具体点吗？非常感谢！

dadam · 发表于 2011-3-18 20:07:54

你的是PTI250型的zygo干涉仪么？

kitten · 发表于 2011-4-3 23:50:41

就是类似于南京英特飞的25口径的干涉仪。

阿明 · 发表于 2011-4-7 14:18:42

首先，要給一些參數，工件的形狀/半徑/直徑，鏡頭的焦距是多少（F）。然後，再來看你的工件是否可以檢測！

nancy-y · 发表于 2012-7-17 15:50:24

本帖最后由 nancy-y 于 2012-7-17 15:51 编辑

美国4D激光干涉仪 AccuFiz系列

nancy-y · 发表于 2012-7-17 15:50:46

本帖最后由 nancy-y 于 2012-7-17 15:52 编辑

美国4D激光干涉仪 AccuFiz系列

fd770a · 发表于 2012-8-20 11:00:16

可以直接测量，做个工装即可

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