测平面度

jackonlee · 发表于 2004-2-23 17:09:00

有DAXIA用过 wyko RTI 4100/6100干涉仪吗？我想知道它可以测平面度吗？怎么测量？谢谢！

guangxuehao · 发表于 2004-2-23 18:27:00

测平面度不是很难呀!!用样板或干涉仪均可!!

jackonlee · 发表于 2004-2-23 19:47:00

我知道呀！可使用样板的精度不够，我们这里有好几种测量的仪器，可是没有说服力。既然有Veeco公司的仪器为什么不用呢？那样才有说服力，是销路更好。

lczhy00001 · 发表于 2004-2-23 22:09:00

干涉仪竟然不会用“？？？？？？？？？？

jackonlee · 发表于 2004-2-23 22:31:00

由于它的程序太复杂，适用范围广。我们这里一直用来测量光学均匀性，不过我觉得干涉仪应该可以测平面度。是Veeco wyko RTI 4100 laser interferometer

guangxuehao · 发表于 2004-2-24 05:37:00

干涉仪不用,那你用什么测量平面度,那可是最高精度的仪器呀!

laowupo · 发表于 2004-2-24 10:47:00

你把镜头拿掉，再把需测平面度的物件放在检测台上，调整他们的距离，试一下