关于离子源的束流瞬间变大的原因

xiaojiang007 · 发表于 2011-4-23 16:18:21

如题打开挡板的时候，我发现离子源束流变的很大，本来是25的瞬间跳到200多，还看到里面有很强的辉光放出，是怎么回事？难道是漏气的原因？因为我现在打开挡板的时候，真空度也有下降，关上挡板的瞬间也有这样的现象请大家给我分析下吧

x550xt · 发表于 2011-4-25 21:46:15

蒸镀时用的离子源辅助吗？

xcy1075 · 发表于 2011-4-26 12:11:16

这就是洗离子源没有装好的问题，电子枪和离子源干扰，屏蔽没有做好！还有一个你接地线没有接错地方！你说真空有问题，观察一下开挡板时真空会掉到多少？蒸镀时真空是多少，
屏栅网没有对好？有脏污的东西在上面，离子

ghtzna · 发表于 2011-4-29 17:25:19

ACC那块吧，看连接点锁牢了没有

xiaojiang007 · 发表于 2011-5-4 20:51:12

没开前真空度e -10*3 开挡板瞬间掉到10*2 呢还有辉光放出呢

ysc212 · 发表于 2011-5-11 23:43:15

真空的问题！不开离子源，查查真空在开关档板时还有没有变化？或是材料放气等等？真空不好，离子源就如你所述。

xiaolan125 · 发表于 2011-5-13 14:31:16

应该是离子源问题，真空掉的不算厉害，膜料放气的可能性较大

xiaojiang007 · 发表于 2011-5-16 19:25:08

这样的情况是有时会发生有时没有，但是发生的频率高些我的是考夫曼的离子源可以说说是那里的问题

[讨论] 关于离子源的束流瞬间变大的原因