请问等离子源和离子源的区别在哪里？？？ (无内容)

yzhuang · 发表于 2005-9-13 23:31:00

莱宝的APS等离子源据介绍所发射的是等离子体,是电中性的粒子,其它离子源发射的是带负电性的粒子,APS的好处是中性粒子不会在基片上聚集影响膜层质量.但是APS维护费用惊人,据说每个电极标称只能用100小时,价格是5000多元

eagle1 · 发表于 2005-9-19 04:27:00

我的一点小理解:
主要是两方面
1.产生等离子体所用的电场(直流或交流,以及交流频率)
2.能量和等离子体密度,二者成反比.

tfc · 发表于 2005-9-19 22:27:00

APS的阴极完全可国产化，可用130-150小时

王李 · 发表于 2005-9-20 03:43:00

APS的国产阴极不稳定，效果不如德国买的。且易溅点子。对光洁度高的产品得不偿失。

zz · 发表于 2005-9-21 15:59:00

看来挺多人用过国产的吗?
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