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[求助]退火对膜的影响

发表于 2003-6-17 18:46:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

“在SiO2衬底上生长的多晶硅薄膜，经脉冲退火后晶粒的择优取向变成〈100〉晶向
”
该怎么解释阿？

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楼主| 发表于 2003-6-20 18:09:00 | 显示全部楼层

[求助]退火对膜的影响

实验的，理论的，都可以呀！

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发表于 2003-6-20 18:46:00 | 显示全部楼层

[求助]退火对膜的影响

没做过！

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