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LN晶体镀膜出现的斑、印迹、点子问题?

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发表于 2003-7-23 21:25:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近我在镀LN(条状、片状)晶体后,用体视显微镜观察,会发现产品表面,包括膜层里面和膜层外面出现了斑、印迹、点子!不知哪位有过这方面的经历,如何改进会减少这方面的影响?
在其他晶体上也会发现这些问题?谢谢各位的支持!!
发表于 2003-7-23 23:41:00 | 显示全部楼层

LN晶体镀膜出现的斑、印迹、点子问题?

镀晶体最大的问题就是光洁度不过关。所以要非常注意这方面的问题。要保持真空室内的清洁、夹具的清洁、工件盘的清洁、以及擦试的质量。还有就是镀完光纤后不可镀晶体。如果是这样的话光洁度会很差。
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发表于 2003-7-24 04:11:00 | 显示全部楼层
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 楼主| 发表于 2003-7-26 00:35:00 | 显示全部楼层

LN晶体镀膜出现的斑、印迹、点子问题?

擦拭液有没有影响,我们一般使用“酒精:乙醚=1:1”的擦拭液?
镀前清洗用什么方法比较干净,后道工序比较易加工,包括擦拭??
发表于 2003-8-30 01:21:00 | 显示全部楼层

LN晶体镀膜出现的斑、印迹、点子问题?

你搽洗为什么不用丙酮而用乙醚?在加工过程中,一定要完全烘干LN,否则容易出现上述现象。另外,LN本身的抛光精度,也会导致上述现象的发生,只好对LN进行仔细的检验才能避免!
发表于 2004-4-5 04:54:00 | 显示全部楼层

楼上的几位说的在点子上了。

我觉得你的斑、印迹应该是你清洗的问题,最经典的方法是先用丙酮,然后是甲醛和去离子水清洗;最后用氮枪吹干。之后放在炉子里完全烘干。

发表于 2004-4-5 06:16:00 | 显示全部楼层
How can I detect the LN surface quality before coating?
发表于 2004-7-14 01:21:00 | 显示全部楼层

LN本身容易带静电就容易吸灰尘,如果解决静电问题那光洁度会好很多。

酒精乙醚1:1效果也很好。

发表于 2004-7-14 02:45:00 | 显示全部楼层

一派胡言!

LN晶体材料最好的清洗办法是

!\人工清洗

先用高锰酸钾和浓硫酸清洗,然后用DI水超声,最后用酒精脱水.

2\机器清洗

高锰酸钾和浓硫酸清洗,然后用DI水超声,在清洗槽中用热氮气吹干\甩干!

用手清洗是清洗不掉的,我公司专门生产LN晶体和加工器件的,这是最好的清洗办法,连美国佬也是这种工艺!

发表于 2004-7-15 23:26:00 | 显示全部楼层
楼上说得对
发表于 2004-7-16 16:09:00 | 显示全部楼层
对啥?那啥是手工清洗不掉的??
发表于 2004-7-28 23:28:00 | 显示全部楼层
以下是引用jeh在2003-7-25 16:35:41的发言: 擦拭液有没有影响,我们一般使用“酒精:乙醚=1:1”的擦拭液?镀前清洗用什么方法比较干净,后道工序比较易加工,包括擦拭??

乙醚麻醉作用。不能人工清洗晶片。

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