请问溅射膜的附着性如何？

darly · 发表于 2004-2-10 04:55:00

OK!
十分感谢楼上的两位仁兄的说明！
我再摸索一下镀膜工艺，一有眉目
我一定贴出来分享！

heyanch · 发表于 2004-2-11 19:07:00

下面引用由darly在 2004/02/05 05:42pm 发表的内容：
是啊！是磁控溅射！
若是有应力产生，为何使
只有边缘出现膜掉落？应该是全面性的剥落啊？
请指教！感谢！

用粘胶带测试时，就不应该从边缘开始,你没见过测试规范吗?我们的要求距离边缘2mm,但即使从边缘拉膜层也没有脱落.

ic5 · 发表于 2004-2-11 19:41:00

我认为还是由于应力的影响，切割时出现迸裂，肯定是由于应力重新分布所致。

wazxq · 发表于 2004-2-14 01:59:00

说应力原因很有道理，如果消应力的话，是不是要将加热减小了。

lazulite · 发表于 2004-2-15 03:19:00

材料不同，有不同的内应力，加温有助於减少内应力，
也可以试试把工作气体压力减少。

sunny2002 · 发表于 2004-2-17 03:25:00

是否可以考虑非平衡磁控溅射?

darly · 发表于 2004-2-20 10:31:00

感谢各位大哥的指导！
日前，小弟受到 lazulite兄小小的启示之后，
现在正在尝试将原来的片子加热250~300℃
消除内应力！
不知可不可行，试试看呗！

wazxq · 发表于 2004-2-20 21:09:00

错了，降温才有助于减少应力，想想看镀膜时温度250，镀完后20度

zz · 发表于 2004-3-10 23:40:00

应力问题了