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[求助]李伟华:镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教 多谢 !

 火... [复制链接]
发表于 2004-3-14 05:48:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
我在镀膜过程中膜厚很是不均匀, 依靠自己经验制作的修正板好了一点
不知道哪位大侠有好的办法或是计算的方法 请指教!
发表于 2004-3-14 06:05:00 | 显示全部楼层

[求助]李伟华:镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教 多谢 !

那就造着你的经验继续啊
发表于 2004-3-14 23:54:00 | 显示全部楼层

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继续修扶正板,还有伞差
 楼主| 发表于 2004-3-15 05:46:00 | 显示全部楼层

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什么是伞差?请指教
发表于 2004-3-15 23:28:00 | 显示全部楼层

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你有几块修正板,韩国人一般采用4块。
发表于 2004-3-15 23:58:00 | 显示全部楼层

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这个主要靠经验了,多镀几次
发表于 2004-3-17 01:56:00 | 显示全部楼层

[求助]李伟华:镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教 多谢 !

用分光机确认差异,然后根据分光图用投影法调整,很大程度都是靠经验,不要迷信公式或软件.
 楼主| 发表于 2004-3-17 03:20:00 | 显示全部楼层

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请仔细指教挡板的位置
请你吃饭
发表于 2004-3-20 20:26:00 | 显示全部楼层

[求助]李伟华:镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教 多谢 !

膜厚不均匀不单是档板的事,还关系到你的钟罩是多大的。因为我在镀膜的时候,一般最下好几层都是不能放镜片的。就是因为膜厚不均匀。你看看你的钟罩,把镜片每层放一片做一下实验。然后做正式的时候就放在实验合格的那几层就可以了。
发表于 2004-5-11 06:27:00 | 显示全部楼层
什么是伞差?请指教
发表于 2004-5-11 07:02:00 | 显示全部楼层

膜厚修正

9楼说的对 ,膜厚修正应具体情况具体分析,源与基片高的、源致公转中心半径及“伞差"大小都会影响膜层均匀性。依据影响膜厚主要原因,进行修正则事半功倍!
头像被屏蔽
发表于 2004-5-11 07:25:00 | 显示全部楼层
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