没人对准分子激光器感兴趣吗？？ (无内容)

asu9527 · 发表于 2003-5-27 19:07:00

严格的来说是达不到均匀、高斯或反高斯形状分布的，加个“准”字差不多。

rachel · 发表于 2003-5-28 02:53:00

如果我想改善准分子激光的光斑质量有什么办法吗？（我想让其达到均匀分布的小光斑状态）

lzlx · 发表于 2003-5-29 03:25:00

我想rachel可能关于光束均匀化，即我所说的加匀束器的办法使光束能量分布均匀，和高斯分布完全不是一回事，加匀束器的目的在于打乱其高斯分布，使其成为平顶光束。

rachel · 发表于 2003-6-1 08:04:00

这样啊………………看来我的想法有误了，那如果我不用匀束器，改用光学镜片，能起到改善光斑质量的作用么？？
如果是平顶光束，是不是意味着能量会相应的下降呢？

zgzxb · 发表于 2003-6-2 06:47:00

能否介绍一下激光束匀束器的工作原理？？？
谢谢！！1

cosinezheng · 发表于 2003-7-16 23:27:00

我想知道准分子激光器的脉冲之间有没有固定的位相关系?

rachel · 发表于 2003-7-19 06:38:00

这一点我倒不太清楚。应该是固定的吧。相对来说是很稳定的。

micat · 发表于 2012-5-20 16:51:47

准分子激光器作为紫外激光光源，输出能量大、平均功率稳定、工作寿命长。在光刻（如半导体光刻、PCB激光投影成像加工等）、精细加工（如微纳结构加工、光纤光栅制作、激光打标等）、材料处理（如液晶显示平板退火、集成芯片退火等）、激光医疗（如眼角膜屈光度矫正、皮肤病治疗等）、科研（如材料制备、光谱技术、激光探测等）以及军工等领域有着广泛的应用。
本项目组从80年代即开始进行准分子激光器的研制，实用化准分子激光器的研制成果多次获中科院科技进步二等奖和三等奖。曾多次承担了中科院准分子激光器的攻关课题，目前还承担了国家重大科技项目中的准分子光源部分的研究课题。项目单位中科院安徽光学精密机械研究所是国内最早从事准分子激光器研制的单位之一，也是目前国内唯一一家能够提供准分子激光器产品的单位。我们掌握了准分子激光器从激光电源到激光放电腔的整体核心技术，能够根据不同需求研制各型实用准分子激光器件。
准分子激光技术指标如下：
A. 输出激光波长 ArF/193nm KrF/248nm XeCl/308nm XeF/351nm；
B. 输出能量 1～500mJ；
C. 脉冲频率 1～300Hz可调；
D．输出功率：5～100W；
E．脉宽：～25ns；
F．光束发散角：3～5mrad。

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