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[讨论] 光学TOOLING=光控控制波长÷实际镀出来的波长 这个波长怎么理解

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发表于 2011-5-16 19:27:42 | 显示全部楼层 |阅读模式
如题 里面的波长怎么理解呢   
发表于 2011-5-17 06:25:50 | 显示全部楼层
本帖最后由 ds1234567 于 2011-5-17 06:27 编辑

送检测量温度一般是20度,而加工时真空室温度通常高于此温,膜层几何厚度d或相位厚度因温度变化小,折射率n变化大,波长的相位差=2nd,温度导致在线测量控制存在误差,这个光学方式控制的误差需要修正,比值小于1是偏薄,大于1是偏厚.
发表于 2011-5-17 15:06:18 | 显示全部楼层
学习学习
发表于 2011-6-14 09:25:28 | 显示全部楼层
学习学习
发表于 2011-9-15 21:43:01 | 显示全部楼层
实际镀出来的波长指的是哪个波长?
发表于 2011-9-16 09:53:58 | 显示全部楼层
应该是指常温下膜系所对应的适用波长。
发表于 2011-9-16 17:13:01 | 显示全部楼层
光控控制波长就是你镀膜时单色仪上调的波长,实际镀出来的波长就更简单了,你镀出来是什么波长就是什么波长撒,比如你做532AR,但做出来峰值在550,那550便是你镀出来的波长嘛。。。。
发表于 2011-9-16 19:13:07 | 显示全部楼层
换一种简单的理解方法:把波长改为厚度,镀出来的厚度要根据光谱图(光谱数据)来算
发表于 2011-9-17 01:13:35 | 显示全部楼层
把等式中的波长改为光学厚度。 理解就不用那么费劲了。
发表于 2011-9-26 10:18:32 | 显示全部楼层
对于我这个半路出家的,波长我理解,光学厚度我不理解啊。。。。
发表于 2011-9-28 17:38:45 | 显示全部楼层
简单来讲(以单层Mgf2膜为例),你设计的参考中心波长为550nm,走一个四分之一波长的光学厚度,假如镀出来的测试光谱(R%)最低点在580nm,说明你镀厚了,需要把参考波长减小,这样才能使测试光谱的最低点移到550nm处,因此Tooling也就出来了:550/580=?自己去算了哦!
发表于 2011-10-10 07:37:43 | 显示全部楼层
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