急：请教各位高人， 5um±3um厚度的尺寸应该用那种方法或设备检验，谢谢！

youngoptcso · 发表于 2011-5-19 12:34:45

最近遇到的问题： 5um±3um厚度的尺寸应该用那种方法或设备检验，
急需要请各位高人指教，谢谢！

youngoptcso · 发表于 2011-5-20 10:21:02

請各位幫忙謝謝!

huyuzhe · 发表于 2011-5-20 13:11:38

找块光胶板，然后用杠杆千分表吧

ds1234567 · 发表于 2011-5-22 06:30:50

0.1um精度的数显测厚仪;这个范围用干涉法也可,波长0.5um时,控制范围8~32个条纹之内.

youngoptcso · 发表于 2011-5-23 12:28:02

谢谢了！

小成 · 发表于 2011-5-23 20:30:25

学习了

[讨论] 急：请教各位高人， 5um±3um厚度的尺寸应该用那种方法或设备检验，谢谢！