大家来讨论一下，关于蒸发速率的问题？

E501559 · 发表于 2011-7-1 11:27:02

我们用的是美国TELEMARK的电子枪，Sycon的膜厚控制仪，镀的是二氧化硅和二氧化钛，在镀二氧化钛的时候经常会速率不太稳定是怎么回事，大家讨论下吧！你们有没有遇到过类似问题！

longmin · 发表于 2011-7-2 07:00:56

除氣有完全嗎

E501559 · 发表于 2011-7-4 08:43:11

longmin 发表于 2011-7-2 07:00
除氣有完全嗎

必须的，事先融过膜料的呀！

缘睐汝痴 · 发表于 2011-7-4 20:34:05

会不会是水晶片的问题

chaser5623 · 发表于 2011-7-4 20:46:22

这个问题听说我实验室其他组的人在做

苏州膜头 · 发表于 2011-7-4 22:19:42

chaser5623 发表于 2011-7-4 20:46
这个问题听说我实验室其他组的人在做

兄弟你哪个实验室啊？

fasces9 · 发表于 2011-7-30 16:20:28

我觉得得看下光斑大小上升时间等等，与光斑及膜料关系最大

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