谁能提供镀制工艺参数

飞天狐狸 · 2004-4-11 03:38:00

我要镀制激光反射膜

膜料是Ta2O5和SiO2

cjyzq · 2004-4-13 06:55:00

镀制激光反射膜请使用膜料ZrO2和SiO2 。

马大嘴 · 2004-4-13 18:02:00

镀制激光反射膜请使用膜料ZrO2和SiO2

波长？？？？膜系？？？？？？？？？？

快乐小鱼 · 2004-4-16 04:37:00

马大狭：请问激光反射膜的波长多少为最合适？

谢谢！

cjyzq · 2004-4-16 05:07:00

激光膜的种类（Laser)波长：

F2---157nm

ArF---193nm

KrF---248nm

Xecl--308nm

Xef---351~355nm

He-cd---325nm

N2---337nm

Ar---351~364nm

" 激光反射膜的波长多少为最合适？" 看你做那一波长（多点）的激光反射膜，根据波长点（多点）的要求进行膜系设计。

yzhuang · 2004-4-29 03:17:00

为减少吸收，镀激光反射膜最好用ZrO2,SiO2