石英晶体在真空镀膜测厚技术中的应用研究-PDF文件,用acrobe打开
O9fOQUvq.pdf (76.17 KB, 下载次数: 206) 2004-5-7 21:17 上传 点击文件名下载附件 上传一篇文章
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看过的了
摘要:基于石英晶体振荡原理,提出了在真空状态下的一种超薄型镀膜测厚方法,介绍了该项测厚技术的基本电 气原理,研究了测厚过程中石英晶体材料的选取方法和组织实施原则*石英晶体应具有固定的技术参数,并被安放 于真空舱内的正确位置*密闭的石英晶体探头通过同轴电缆与外部振荡器相连,振荡器输出的频率信号由微机进 行处理,将频率信号转化为厚度值。
照顾一下新来的兄弟姐妹,我将摘要拷贝出来,楼主不会有意见吧。
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