弱弱问一下，各位对付20um的麻点镀膜有什么好方法？

fasces9

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 09:42
我是个菜鸟，不太懂。
膜料蒸速越低，光洁度就越好吗？另外，你使劲拖地，会不会导致空气湿度过大了？

一般来说是这样的，地面拖地勤快在我认为能有效把灰尘吸附住，在灰尘扬起前就又把灰尘拖没了

Jimmy_tang

我觉得这洁净度是足够了。因为我看过一些公司的镀膜防尘条件并没有很苛刻。
一般而言，镀膜后的光洁度本来就会比镀膜前下降一个等级的。不知道为什么你要求这么高，与其在镀膜上下这么大的功夫，我个人认为把基底材料的光洁度提高一个等级似乎更容易一些。

fasces9

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 14:14
我觉得这洁净度是足够了。因为我看过一些公司的镀膜防尘条件并没有很苛刻。
一般而言，镀膜后的光洁度本来 ...

因为最近公司接到很多订单都是20um，呵呵，老板急我也急啊，本人觉得20um以下可能是以后的主流，因为那么小的麻点拥有更好的像素

Jimmy_tang

不是可能啦，是肯定。因为像素会越来越高，所以对光洁度的要求也会越来越高的。
但是，像我说的，很多公司的镀膜都只肯承诺降一个数量级的，我工作了十几年都没见哪个公司敢打包票镀膜后不降光洁度。你这样难度很高啊。

fasces9

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 14:28
不是可能啦，是肯定。因为像素会越来越高，所以对光洁度的要求也会越来越高的。
但是，像我说的，很多公司 ...

呵呵，相比你，我入行才1年，你的意思是镀膜前的工序要做的更好点，比如抛光。。。
你分析的很有道理，抛光后水晶片的点子是5um，然后超声波清洗（全部换新的纯水），之后强光灯检验（在带离子风的FFU下），我觉得前面工序已经没什么可挑剔的了，这样的成本虽然超级高，但是。。。 还是40um的麻点，您觉得那里还需要注意或者要改善的？

cgzsad0432

装基片的夹具有没有问题，蒸发源周围及膜料本身，膜料周围，，这些地方产生麻点的机率比其它地方要大多了

fasces9

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:00
装基片的夹具有没有问题，蒸发源周围及膜料本身，膜料周围，，这些地方产生麻点的机率比其它地方要大多了

夹具是脱膜后用超声波清洗的，蒸发源周围打磨干净后用无尘布擦拭干净，膜料是专门预融好后再装进去，膜料周围因为是第1炉，清机后用无尘布擦拭干净了，所以应该很干净。您有什么办法或者好的方法可以改进？

Jimmy_tang

fasces9 发表于 2011-8-4 15:00
呵呵，相比你，我入行才1年，你的意思是镀膜前的工序要做的更好点，比如抛光。。。
你分析的很有道理，抛 ...

晕，10-5的降到60-40？这个太狠了，我说的只是降低一个等级而已，例如说从10-5降低到20-10。
你能否确认到进入镀膜机前，基片的光洁度仍然是10-5吗？

Jimmy_tang

你在楼顶不是说麻点是20um的么，怎么又说是5um的了？究竟是20捏？还是5捏？

cgzsad0432

fasces9 发表于 2011-8-4 15:07
夹具是脱膜后用超声波清洗的，蒸发源周围打磨干净后用无尘布擦拭干净，膜料是专门预融好后再装进去，膜料 ...

膜料预熔时膜料下面的底料是否干净？膜料存放时是否常温干燥存放，用的是电子枪的话，枪头脏不脏？特别是枪灯丝周围，枪光斑绕射过来时，所经过的周围是否干净

cgzsad0432

fasces9 发表于 2011-8-4 15:07
夹具是脱膜后用超声波清洗的，蒸发源周围打磨干净后用无尘布擦拭干净，膜料是专门预融好后再装进去，膜料 ...

还有个，夹具的脱膜，最好是用喷砂机进行脱膜，直到夹具表面的膜层全部去掉，再清洗干净

Jimmy_tang

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:20
膜料预熔时膜料下面的底料是否干净？膜料存放时是否常温干燥存放，用的是电子枪的话，枪头脏不脏？特别是 ...

常温干燥是指温湿度要在什么范围？膜料包装外面都没有说明的，我都不知道该怎么放好。