楼主: liguang

[技术] 怎么样算材料的折算率比较准确?还有设计出来的曲线和实际镀出来的曲线平移了

 火... [复制链接]
发表于 2012-6-20 17:19:22 | 显示全部楼层
liguang 发表于 2011-7-25 08:48
呵呵,解决了是Tooling值没算对,不过我还郁闷的是如果Tooling值算对了,那材料折算率跟实际镀出来的有什么 ...

朋友是光控的吗   请问下   这材料的的tooling怎么计算的呢  谢谢  
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发表于 2012-7-24 17:10:39 | 显示全部楼层
xiaojiang007 发表于 2012-6-20 17:17
这个tooling怎么计算啊  ?单层标定H  L层是怎么做呢  谢谢了

分别作单层然后用台阶仪测试厚度与理论值对比
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发表于 2012-7-25 06:41:58 | 显示全部楼层
单层做得厚一点,让他在分光光度计上的波峰波谷多一点。然后用软件拟合测试的数据,得出一个厚度值。tooling就是这个厚度值/设计厚度*100%
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发表于 2012-7-28 12:15:42 | 显示全部楼层
huyuzhe 发表于 2012-7-25 06:41
单层做得厚一点,让他在分光光度计上的波峰波谷多一点。然后用软件拟合测试的数据,得出一个厚度值。toolin ...

这个厚度是指的什么厚度呢  我的机台是光控的,请问是不是光学厚度呢   请教步骤  谢谢 !!我以前听别人说过用波长变化来求这个tooling  ,就是软件 模拟的波长 跟 实际镀出后变化的波长  这 样 的 方法是否正确呢   请指教  
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发表于 2012-7-29 15:40:34 | 显示全部楼层
xiaojiang007 发表于 2012-7-28 12:15
这个厚度是指的什么厚度呢  我的机台是光控的,请问是不是光学厚度呢   请教步骤  谢谢 !!我以前听别人 ...

可以的,比如说用tfc,把你用光度计测出来的曲线读进点优化里面,然后优化单层厚度,就可以知道你实际的物理厚度。然后如果你是光控,那么要把光控的设计光学厚度换算成物理厚度,然后除一下就可以了
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发表于 2012-7-30 16:39:44 | 显示全部楼层
huyuzhe 发表于 2012-7-29 15:40
可以的,比如说用tfc,把你用光度计测出来的曲线读进点优化里面,然后优化单层厚度,就可以知道你实际的物 ...

光控的设计光学厚度换算成物理厚度  怎么转化呢  ?谢谢朋友指导下  谢谢
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发表于 2012-7-30 17:04:40 | 显示全部楼层
xiaojiang007 发表于 2012-7-30 16:39
光控的设计光学厚度换算成物理厚度  怎么转化呢  ?谢谢朋友指导下  谢谢

软件模拟咯,tfc不是可以输入光学厚度的吗?直接输入物理厚度不就出来了
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发表于 2012-7-31 13:48:51 | 显示全部楼层
huyuzhe 发表于 2012-7-30 17:04
软件模拟咯,tfc不是可以输入光学厚度的吗?直接输入物理厚度不就出来了

tooling值非要用 物理厚度吗  ,我之前的那个方法可以求出吗   我现在不明白的是物理厚度 一个是我模拟的物理厚度,一个是我实际镀出来的厚度,这个厚度怎么求,我不明白  可否朋友讲解下 谢谢
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发表于 2012-8-2 23:24:15 | 显示全部楼层
怎么简单的问题这么多人问,郁闷了
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发表于 2012-8-2 23:25:26 | 显示全部楼层
Q371450218  想知道的加
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发表于 2012-8-3 15:09:02 | 显示全部楼层
1、先用TFC模拟下 2、用模拟的物理或光学厚度蒸镀次→测试分光结果→算出药材折射率输入到TFC中
3、将测试结果用TFC模拟出来,现在模拟出来的物理或光学厚度为实际所镀值
4、tooling=实际值/设计值*100%   5、再使用一简单的BPF(如中心波650 HLHLH2LHLHLH)进行tooling值微调。
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发表于 2012-8-5 22:20:05 | 显示全部楼层
本帖最后由 a99533126 于 2012-8-5 22:23 编辑
xiaojiang007 发表于 2012-7-31 13:48
tooling值非要用 物理厚度吗  ,我之前的那个方法可以求出吗   我现在不明白的是物理厚度 一个是我模拟的 ...


实际基片膜厚=理论膜厚(晶控设定厚度即你模拟的膜厚)*tooling值

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