我想学习镀膜机具体抓TOOLING的方法和计算折射率的方法，好心人指教下！

李昌瑞 · 发表于 2012-11-9 20:06:56

镀多层膜的时候，抓TOOLING的时候，是不是应该镀得厚点，那样是不是准点哦？TOOLING=实际曲线和理论曲线的比值？

b06010914 · 发表于 2012-11-17 06:17:57

Tooling 就是设计厚度与实际厚度的差值，就拿单层膜来说，设计时想镀100nm，输入的厚度也是100，但实际产品上厚度只有80nm，它们的比值就是Tooling值

贼头 · 发表于 2012-11-17 19:42:21

帮顶。.......。

SKY520 · 发表于 2012-11-26 16:28:41

qxb2008 · 发表于 2013-1-4 12:17:35

chao_li0622 · 发表于 2013-1-4 19:38:40

超越 · 发表于 2013-1-7 08:29:01

alisty · 发表于 2013-1-9 15:55:51

白云 · 发表于 2014-4-24 21:37:04

学习学习啊、、、、、楼主会了吗。有资料传给我谢谢
223402647@qq.com

yuliang518 · 发表于 2014-5-6 18:01:59

lkwxp · 发表于 2014-12-27 20:06:31

tooling值的算法，晶控说明书上说的很清楚。

獨抹①丗仺涼 · 发表于 2015-4-20 21:49:08

做个单层膜，测试完带入TFC，把设计的曲线和镀出来的的曲线优化在一起，看看设计的厚度和实际的厚度就可以计算出TOOLING

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