真空室漏气

zhangking · 发表于 2005-10-16 05:04:00

先用Ｈe检漏仪看看有没有漏气；如果没有大漏还是抽不上去，那么就用ＲＧＡ（质谱仪）看看是什么在真空室里，可以区别开是漏水还是冷阱漏气；如果还是没有发现，那么告诉你，你很幸运，你的扩散泵油可能坏了：）

wazxq · 发表于 2005-10-17 22:39:00

看漏的地方了，上次我用了几瓶酒精都没找到，又浪费时间，后来还是检漏仪好用

brucelee80 · 发表于 2005-10-21 18:43:00

百变说的有道理，我们也这么做过，不过我门有测漏仪的。很贵的东东哦

leidiygs · 发表于 2005-12-1 23:27:00

呵呵!楼上的有意思

guoningaa · 发表于 2005-12-21 05:06:00

能抽到1.0X10-3Pa,根据压升测得漏率大约2PaL/s,氦检漏仪也用过了.就是找不到漏点,系统抽速大约2000L/s.
快快支找招,急死我了,如何才能找到漏点.

guoningaa · 发表于 2005-12-21 05:07:00

能抽到1.0X10-3Pa,根据压升测得漏率大约2PaL/s,氦检漏仪也用过了.就是找不到漏点,系统抽速大约2000L/s.
快快支找招,急死我了,如何才能找到漏点.

gwl-1968 · 发表于 2005-12-21 16:31:00

用注射器吸丙酮进行注射测试可能漏气的地方，很快就成。试试看。

yingquan · 发表于 2005-12-23 19:21:00

还是用酒精吧，便宜。

qzzz113 · 发表于 2005-12-28 00:17:00

我用密封泥把设备都包严实了，可还是没有找到漏点。我想买个可以检测真空设备泄漏点的测漏仪，哪里有卖啊？

qzzz113 · 发表于 2005-12-28 00:29:00

我的扩散泵没有坏，可以抽到10Pa以下。但停泵后压升的很快（2Pa/s），就是找不到漏点。请问楼上酒精、丙酮捡漏是怎样操作的？

宇轩 · 发表于 2005-12-28 05:38:00

一般是先用乙醚或丙酮打真空室有可能漏的地方，这样来检漏，成本低

但它的效率也是相对低的。若实在无法排除故障，就得考虑用氦气检漏仪了

nqh1978 · 发表于 2005-12-29 19:24:00

有没有了解RGA的？

氦检漏仪也用过了.就是找不到漏点