请问波前畸变是什么概念?
它和平面度有和区别?
反射波前畸变和透过波前畸变各指什么?
谢谢!
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我个人认为透过波前畸变是晶片两个面平面度的一个综合,加上材料本身的均匀性不好等的一个综合性指标。而平面度指标只是一个纯粹的一个加工表面的指标。(纯属个人观点)
至于反射波前畸变也不清楚还请哪位高手解释一下。
我同意楼上的看法
透过波前畸变是一个综合指标
我理解的 透过波前畸变产生的原因就是一束光波经过零件时 光程n*d不相等 ,n时材料折射率d是光在零件中走过的路程。当n一定时,即使单个面的面形很差,但如果能做到两个面面形互补(即处处d相同),那么透过波前畸变同样会很好
反射波前畸变指零件的表面面形有缺陷,引起的一束光波经反射后波前变形。
按你的意思,就是两个面的平行度要好。
你所说的反射波前畸变好像跟平面度差不多,指表面面型。
本人认为都与平面度有关,透过波前畸变是一个综合指标,反映加工的水平。
反射波前畸变可能指的就是平面度,所以很少听说。
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