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请教

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发表于 2004-7-4 03:59:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大哥,我司用的北仪450和南光700镀膜机,请问在镀单层氟化镁的时候怎样避免溅射点?融化到什么程度才没有?电流呢?
发表于 2004-7-4 05:02:00 | 显示全部楼层

用电阻热蒸发,蒸发速度要慢

发表于 2004-7-4 18:17:00 | 显示全部楼层
预熔要慢,蒸发要快。
发表于 2004-7-5 22:30:00 | 显示全部楼层
MgF2是很容易产生溅射点,这与镀膜物质本身的纯度和形状(颗粒或块状)有很大关系,镀膜速度要小,若用电子枪,电压5KV,电流20mA就够了。
发表于 2004-9-8 00:57:00 | 显示全部楼层
预熔要慢,蒸发温度控制好,太快太慢都不好。
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