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zernike系数

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发表于 2004-7-23 05:51:00 | 显示全部楼层 |阅读模式


大家知道,zernike系数在光学评价中有很大的作用,大侠们对zernike系数有何看法请回话。或者那位大侠能对zernike系数有明确的说明啊?或者上传一点资料也好啊



LfakjBJ1.doc

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 楼主| 发表于 2004-7-25 06:58:00 | 显示全部楼层


没有人响应呀??????



发表于 2004-7-27 17:55:00 | 显示全部楼层


<P>不知行不行</P>



发表于 2004-7-30 18:17:00 | 显示全部楼层


一般不用于像质评价上,主要用于光学测试中。可以参考干涉测试方面的资料



 楼主| 发表于 2004-8-2 06:03:00 | 显示全部楼层


谢谢大哥



发表于 2004-8-21 01:21:00 | 显示全部楼层

zernike系数是表征光学系统波形差的像质参数,一般的光学仪器检测中是没必要的,只需要校正常用的几何像差就可以了。但是在高精度光学投影物镜中(比如光刻机的投影物镜)像质校正是需要用的到的。

zernike系数的计算以及物理意义可以在波恩的《光学原理》中看到。zernike 系数是在光瞳面上对波面进行zernike多项式的拟合,拟合的系数就是zernike系数,不同阶数的zernike系数代表不同的像差

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