高反膜有点

jackonlee · 发表于 2004-8-3 19:43:00

偶在镀高反膜时发现上面有很多点子，镀增透时就没有，请各位高手指教。我的膜系是H(LH)^15@1064nm,H:ZrO2;L：SiO2.

likeoe · 发表于 2004-8-5 01:43:00

增透可能是不明显，看不出，高反层数多了就明显了，预熔得好一点，蒸速稍慢一点看看。

zz · 发表于 2004-8-3 22:42:00

ZRO2喷，可改用TA2O5

sanma · 发表于 2004-8-5 05:18:00

最近我也出现这种情况，到现在还解决不掉，我用的是ta2o5和sio2，不知是不是sio2产生的，不知哪个产家哪种规格的料好些。

eagle1 · 发表于 2004-8-13 05:00:00

一般而言，应该是高熔点的材料造成的，不大可能是SiO2产生的。

ic5 · 发表于 2004-8-13 16:22:00

先看分清是基片表面的疵病，还是镀膜过程引起的蒸发点？

增透看不出来是因为他表现的不明显，而反射膜表现的明显！

基片的疵病，从玻璃表面处理。如果是蒸发源引起的，要注意膜料的预熔充分，还要注意蒸发光斑的位置（针对电子束蒸发源）