膜裂问题

lh040805 · 发表于 2004-8-9 18:17:00

材料选对了，就是工艺问题了

kuan · 发表于 2004-8-11 21:48:00

影響膜裂的原因很多

應該逐一作測試才能了解

試試鍍後作烘烤可強化膜的結構

wish · 发表于 2004-8-11 21:51:00

若烘烤不当，膜反而会裂

likeoe · 发表于 2004-8-12 16:24:00

与薄膜的致密度也密切相关，对再次烧烤的薄膜，如果致密性高的话，稍不容易裂

wtd · 发表于 2004-8-12 19:04:00

是膜镀得不牢吧！提高温度试试！

flyinlove79111 · 发表于 2004-8-14 03:34:00

把蒸发速率降低点看看，还有取零件时，温度降到到常温了没有？

kingman · 发表于 2004-8-14 05:47:00

原因很多，应该还是导致应力过大。有时候是随机的问题。

chugqchugq · 发表于 2004-8-23 17:52:00

边缘效应造成的.

ZHE910 · 发表于 2004-8-25 19:11:00

请问ito镀膜时裂膜是什么原因？用的是直流磁控溅射

xiaohe · 发表于 2004-9-10 23:55:00

我个人觉得应在前期把问题尽量解决，防患于未然啊．先期解决清洗的问题和真空洁净度问题．就洁净度而言应该提高真空度和防返油，加深冷设备能解决．国产机很难做到，原因是未把深冷设备作为标配，镀稍高要求的膜就会出现这儿哪儿的问题．我做真空应用深冷设备的０５５１５３２９１９５何

linmaco · 发表于 2004-9-12 07:42:00

一种是选择与基底材料附着力好的膜料，

另种是从基底洁洗下手，

三是镀膜工艺改进，膜层越多应力越大，基片厚薄都很关键，国产机做IR-CUT滤光片0.3mm玻璃上镀膜难度就很大，设备等因素，

四是环境影响，

个人见解多多指教！