激光干涉仪的功能及作用

hi1718 · 发表于 2011-8-29 11:42:31

激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。测量长度的激光干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。

激光干涉仪采用一个双光束激光头和一个双通道的处理器，采用飞行采样方式，在测量过程中无须停机采样检测，节约了测量时间和编程时间；利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析。激光干涉仪的激光头和靶标反射镜二件之间只要发生相对位移就能进行测量，测量系统中无须分光镜、所以对光极其方便。

激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。激光干涉仪可用来精确测量和校准机床、三座标测量机和X-Y平台的机械精度，也测量轴的定位精度、重复定位精度及反向间隙，测量轴的角偏、直线度，测量平台的平面度。

doddshi · 发表于 2011-8-30 12:59:06

说得好

心远地自偏 · 发表于 2011-10-17 09:48:49

谢谢分享，作个了解。

horse001 · 发表于 2012-5-28 21:43:02

nancy-y · 发表于 2012-7-17 16:09:46

美国4DAccuFiz激光干涉仪-通用型，原来是做WYKO干涉仪的，后来做动态干涉仪就是不需要隔振台那种，现在也出通用型的激光干涉仪，看了看参数，分辨率比ZYGO的高，分辨的条纹数多。而且仪器做的很小巧

测量模式：时域相移，可选动态测量

光源：632.8nm 氦氖激光，可选稳频激光，532，1053，1064nm波长可选

输出光束：4in或6in（100mm或150mm），圆偏振准直光

参考镜：卡口式安装，通用标准接口

4in口径：4.25in（10.8cm）轴向、水平或侧边

6in口径：5.26in（13.3cm）轴向、水平或侧边

变倍：10X

对准：双光束指示

相机：600 x 600像素，12位，可选1200 x 1200像素，12位

操纵杆：远程控制变焦、变倍、pan、光源直径、测量

系统软件：4Sight波前分析软件（含用户手册）

               瞬时相移数据采集

            合成参考面，数据相减，数据平均，设置模板等操作

            2D及3D 表面形貌图

            Zernike / Seidel/ Slope / Geometric / Fourier 分析

            标定数据集的实际尺寸

            绝对球面，三球面标定

            支持HDF4 / HDF5数据格式

            同时支持（opd、map、dat、hdf、int、cvs及 txt）

尺寸：52.6 x 23.8 x 20.3cm

重量：<13.6Kg(30lbs)

功耗：<750W

温度范围    工作温度：60–80° F, 无凝结

                  储存温度: 30–100° F, 无凝结

系统性能
条纹分辨能力 500对

采样率：显示速率> 30 f/s

样品反射率：1 到100%（要求衰减）

RMS 重复性：< 0.0002 wave  RMS

                  <0.00004 wave  RMS（带扩展精密包）

未标定精度：< λ/20透射平面（参考平面）

http://opturn.blog.sohu.com/181406017.html

北京欧唐科技发展有限公司
010-62527842
nancy@opturn.com

nancy-y · 发表于 2012-8-15 13:54:52

lovemannyzhu · 发表于 2012-8-19 09:59:14

谢谢分享~~

xianlingyue · 发表于 2012-8-20 14:29:26

nancy-y · 发表于 2013-4-15 13:11:36

AccuFiz 系列菲索激光干涉仪，AccuFiz系列菲索激光干涉仪小巧便携；

AccuFiz系列菲索激光干涉仪，CCD像素1200*1200，12bit；低噪声、高空间分辨率，全口径分辨条纹数不少于500根；可以清晰地观察被测样品表面的中间空间频率特征；

有动态测量模式，可以在空气湍流和极端振动的环境下进行动态测量！

kelvin874874 · 发表于 2013-5-2 08:38:42

谢谢分享，作个了解

michael2012 · 发表于 2013-5-2 14:52:14

bxhd · 发表于 2013-5-21 10:52:57

[技术] 激光干涉仪的功能及作用

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