镀膜设计与工艺

xiaojiang007 · 发表于 2011-10-15 09:40:36

每台机器出来的东西都不一样是不是你的材料以及基底不对呢

stl03132 · 发表于 2011-10-16 22:33:15

Jimmy_tang · 发表于 2011-10-17 11:35:48

工艺是没有问题的。只是我模拟的不对。但我在网上查得的数值，应该偏差不大才是。嗯嗯嗯，到底我哪里做错了呢。。。

xiaozhou · 发表于 2011-10-17 19:52:06

学艺不精嘛，继续探索吧

ipshjh2005 · 发表于 2011-10-18 07:07:30

mfsw123 · 发表于 2011-10-18 23:16:27

机器做的和模拟的有误差吧

Jimmy_tang · 发表于 2011-10-24 15:38:03

最近看了一些使用TFC设计的实例，感觉软件使用应该是没有错的。我现在奇怪的就是实际上使用的工艺参数，在TFC上设计，怎么都不正确。
例如我要镀的是1315的双点AR，按照工艺镀出来的曲线没什么问题，但在TFC软件上按照相应监控波长计算出来的却是这样的：

fql3310 · 发表于 2011-10-25 13:29:47

系数的事情。

Jimmy_tang · 发表于 2011-10-25 13:37:17

fql3310 发表于 2011-10-25 13:29
系数的事情。

你是说tooling的原因吗？但优化后的曲线完全和优化前非等比例的。
你能说的具体点吗？

fql3310 · 发表于 2011-10-26 16:59:53

这个不好说,去现场比较好解决.公司在哪?

huang12949 · 发表于 2011-10-27 11:43:43

在我觉得TFC只能是一个参考模拟。尤其是在每台机器实际镀出来和TFC模拟出来相差非常大的时候，这个原因有很多，真空度，离子源，材料等。如果说想设计和实际基本达到一致，需要下功夫的。最简单的就是它随机器配带的薄膜软件，这样的是比较靠谱的，但是这样的牛逼的东西很少见，我见过，也用过。

Jimmy_tang · 发表于 2011-10-27 13:31:48

十年前的老南光，哪有什么配软件的啊。。。

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