神奇的镀膜机啊，你究竟是怎么了

缘睐汝痴 · 发表于 2011-11-10 15:50:14

Jimmy_tang 发表于 2011-11-10 08:31
短时间内是看不出真空度下降的情况。保压应该是没有问题的。
我们也猜测是管道或者阀门漏气，但是检测不到 ...

楼主你好，请问你们说的保压会有什么问题呢，就说保压不稳定吧，真空度时高时低，这也只能说明是漏气啊，还可以说明什么呢

缘睐汝痴 · 发表于 2011-11-10 15:53:56

﹏ゝ﹏ゝ发表于 2011-11-9 14:23
其实楼主可以抽真空室的真空看看保压有什么问题没。。没问题基本就是管道咯~~

楼主，请教一下，你说的如果保压有问题，那就可以说明管道没有问题吗，为什么呢

Jimmy_tang · 发表于 2011-11-10 16:50:36

缘睐汝痴发表于 2011-11-10 15:47
这样的现象是和我们的机器一模一样的啊，感觉就是我们的机器，我们是05年南光800
天天出问题，抽空时好时 ...

你的镀膜机这样子更像是电路板被老鼠咬了。。。
我现在的机子抽空是天天早上第一炮都是孬的，然后再抽过才是好的。
然后，我的晶控一直都是坏的。。。。

Jimmy_tang · 发表于 2011-11-10 16:53:02

缘睐汝痴发表于 2011-11-10 15:50
楼主你好，请问你们说的保压会有什么问题呢，就说保压不稳定吧，真空度时高时低，这也只能说明是漏气啊， ...

他说的保压应该是抽空到高真空后，停止抽真空，看数值会不会有异常的变化吧？

缘睐汝痴 · 发表于 2011-11-10 18:38:49

Jimmy_tang 发表于 2011-11-10 16:53
他说的保压应该是抽空到高真空后，停止抽真空，看数值会不会有异常的变化吧？

恩这个还是不怎么好看出来的，尤其是小漏。关高阀后真空度本就会降低，可是不知道什么时候真空才能稳定，等真空稳定后真空度也很低了，能到-1Pa吧，此时真空都不灵敏了，小漏的话还是会出现很久都观察不出真空计的变化

Jimmy_tang · 发表于 2011-11-11 08:42:21

缘睐汝痴发表于 2011-11-10 18:38
恩这个还是不怎么好看出来的，尤其是小漏。关高阀后真空度本就会降低，可是不知道什么时候真空才能稳定 ...

嗯，确实如此。只有比较严重的漏气才能通过这种方式看到。

WENJINGREN · 发表于 2011-11-12 15:37:47

你们是每天都关机吗？关机后多久关空压机。

Jimmy_tang · 发表于 2011-11-15 15:56:11

WENJINGREN 发表于 2011-11-12 15:37
你们是每天都关机吗？关机后多久关空压机。

1小时。

WENJINGREN · 发表于 2011-11-15 16:43:57

Jimmy_tang 发表于 2011-11-15 15:56
1小时。

能将你们关机的程序描述一下吗

cms8334426 · 发表于 2012-2-20 08:50:16

手动来抽，一步一步来，记录时间，对比，看下是不是阀门有漏气

diaodiao315 · 发表于 2012-2-22 08:43:32

是不是气动阀门那里有内漏呢？那个气缸有时关紧了有时没关紧（气压不足），但是显示正常。。。。。拆了观察真空度变化看看

wdydede · 发表于 2012-5-11 00:45:23

深有体会，我是检查不出来的，我们的南光机和楼主的很像，现在也有这种问题

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