薄膜设计与短波光控

likeoe · 发表于 2011-12-18 07:35:42

我建议你找些光学薄膜的书看看，方法比结果更重要，你提的那些问题只要知道了原理都很简单的。

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-19 10:55:40

xiaojiang007 发表于 2011-12-16 19:46
朋友你好我的也是用的国产的光控现在也不是很了解你说的根据经验调节提前量是什么意思啊谢了 ...

提前量只能是对镀膜曲线进行微调罢了。例如说发现设计出的曲线比实际曲线略长20-30nm的时候，实际镀膜的时候可以适当的提前结束。

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-19 10:58:57

likeoe 发表于 2011-12-18 07:35
我建议你找些光学薄膜的书看看，方法比结果更重要，你提的那些问题只要知道了原理都很简单的。

能推荐一下吗？我现在苦于没有工艺方面的指导。

likeoe · 发表于 2011-12-19 22:05:34

你在当当网上查“光学薄膜技术”，会查到“现代光学薄膜技术”唐晋发，还有“光学薄膜技术”卢进军，前者比较系统，后者比较基础，入门还是可以的。

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-20 09:16:21

likeoe 发表于 2011-12-19 22:05
你在当当网上查“光学薄膜技术”，会查到“现代光学薄膜技术”唐晋发，还有“光学薄膜技术”卢进军，前者比 ...

非常感谢！

ysc730603 · 发表于 2011-12-23 20:17:08

走定值是不可能的，因为每个光控片的走值是不一样的

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-26 09:59:06

ysc730603 发表于 2011-12-23 20:17
走定值是不可能的，因为每个光控片的走值是不一样的

我最近做了个实验，是测量连续2炉镀膜时，同样定值情况下的镀膜偏差。我的镀膜机最近的偏差很大，已经达到需要人为纠偏的程度了。
几年以前，走定值的时候，曲线的偏差在10-20nm左右。现在有时则会达到50nm。估计是镀膜机老化了吧。

dzhhao · 发表于 2011-12-26 11:36:28

定值法要求材料的N必须灰常准确。

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-26 11:51:27

dzhhao 发表于 2011-12-26 11:36
定值法要求材料的N必须灰常准确。

这个难啊。我测量了，连续2炉，N会变化的。

z1206l · 发表于 2011-12-26 12:46:00

不是很明白你说的问题

你用的是什么型号的光控啊？

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-26 13:55:45

一般的光控，额，我还真没注意过型号，哈哈。国产的镀膜机能配啥好的光控啊

缘睐汝痴 · 发表于 2011-12-26 14:14:10

Jimmy_tang 发表于 2011-12-19 10:55
提前量只能是对镀膜曲线进行微调罢了。例如说发现设计出的曲线比实际曲线略长20-30nm的时候，实际镀膜的时 ...

可以适当调整监控波长吗，把监控波长减小或者增加呢

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