蒸发速率影响膜层结构疏松问题

huang12949 · 发表于 2012-6-2 11:27:54

宇宙深处发表于 2011-12-26 18:20
其实这里面有很多问题：
1、增加速率是通过离子助镀还是加大蒸发电流？（这两者有很大区别，加大电流膜材也 ...

离子助镀，实际上对增加速率存在疑惑。生产中相同的膜厚，开离子源和不开离子源镀后效果相比，前者表象过厚，后者显象过薄。这个怎么解释呢？是开离子源蒸发粒子到基底上产生的薄膜更接近块状材料特性？求解。。。

相伴/sun天涯 · 发表于 2012-6-2 13:59:53

镀MGF2 温度会影响膜层的牢固度的所以温度达到速率小比大好

wdydede · 发表于 2012-6-2 20:55:00

用舟镀时，以不打点为前题，越快越[牢。

qs2784 · 发表于 2012-6-21 22:14:20

还是要多验证一下寻找适合点

[讨论] 蒸发速率影响膜层结构疏松问题