镀膜发现膜料的折射率似乎有变化

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-8 15:47:59

最近镀膜，每次镀出来的镀膜曲线总有一些变化，在TFC上反复模拟后发现好像材料的折射率上升了？
有没有可能是充氧量减少或者是离子源输出降低了呢？不过从仪表读数上看，充氧量没有降低啊。

xiao2011 · 发表于 2011-12-9 08:43:33

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-9 11:38:17

真晕啊，连续镀膜的话，每镀一次膜，曲线就向长波长方向移动一点。是充氧问题？还是离子源问题？还是我的光控出问题了？

bluewhale0576 · 发表于 2011-12-9 13:52:25

真空度随防换板变脏会变化的，折射率小了当然向长波移动

zjtzzw · 发表于 2011-12-10 16:21:41

主要是受镀膜真空影响，这种情况一般都很有规律，总结一下每罩的偏移量，每次换板后回调就好了。

likeoe · 发表于 2011-12-11 14:45:05

真空室内越脏，吸附的水气就会越多，在镀膜时的放气量就会越多，致密度就会低，波长就会往长波方向移，到最后连形状都会跟着变的。

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-13 11:43:15

谢谢楼上的几位的建议。
我每天早上开镀前会做一次烘烤，然后再开始镀膜，之后似乎每一炉都会使得曲线向长波长方向移动，然后第二天再次镀膜的时候曲线又会回来一些。但总体比以前长了。
因为我每天都在检测室内湿度，上周的空气湿度因为有时下雨，室内在30%到50%之间变化，室外（镀膜机的放气孔在非洁净区域，基本与外界畅通）的湿度要更高一些。
这周看起来不会下雨，我会对tooling值做重新测量和计算，看看是否和镀的次数有关，以及是否和室外湿度有关。

神州八号 · 发表于 2011-12-13 14:38:57

wazxq · 发表于 2011-12-13 16:17:30

离子能量足够强时候，这些变化就没有了

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-13 16:26:55

是说离子源强度不足对吗？
离子源强度会不会有过大导致不良后果的？如果没有，我就可劲的加了。

缘睐汝痴 · 发表于 2011-12-14 11:29:07

继续关注中，我们也有这样的问题，这个问题恐怕大家都会遇到吧

心静 · 发表于 2012-4-10 12:37:30

[讨论] 镀膜发现膜料的折射率似乎有变化

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