铝膜发黑是什么原因

xiaojiang007 · 发表于 2011-12-23 19:38:37

最近做这个膜老是发黑是什么原因啊我是的是用电子枪蒸发石墨坩埚进行蒸镀温度100度速率还行我现在分析可能是我的速率还不够快我的真空度是1.7*10-3pa 谢谢大家给点思路

coaterxf · 发表于 2011-12-28 15:56:55

速率要到6nm/Sec以上。

xiao2011 · 发表于 2011-12-28 16:38:55

xiaojiang007 · 发表于 2011-12-30 19:28:33

问题解决了改用石墨坩埚.加快蒸发的速率就可以了感觉速率很重要

缘睐汝痴 · 发表于 2012-1-10 18:35:16

学习了

gxfdllg · 发表于 2012-3-15 14:34:31

看下材料是不是老料太多及时更换新料，监控是不是有效监控材料的实际厚度，镀膜真空度变化大不大！

diaodiao315 · 发表于 2013-2-18 17:13:48

学习学习，以后验证下！再问石墨坩埚的使用情况、寿命的情况是啥子样子？

chao_li0622 · 发表于 2013-2-21 09:47:00

学习

linna9222 · 发表于 2013-6-19 11:12:11

温度100度？不高吗？

wugaoling688 · 发表于 2013-6-24 12:40:11

速率很重要

maray · 发表于 2013-6-25 17:01:10

SKY520 · 发表于 2013-7-7 23:31:11

学习中

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