如何根据药材设置电子枪功率？

otxtc · 发表于 2012-2-9 11:06:22

xiaohuilee 发表于 2012-2-4 21:53
选择合适？
不好意思我不是很理解
蒸发速率主要不是根据电子枪电流的大小光斑以及真空度也对其有影响 ...

晶控设定 Rate 值就是用户设定的材料速率值。
成膜过程中，晶振片的频率变化加上事先设定好的材料参数，晶控就能得到当前速率，从而通过一定算法(通常是PID)控制蒸发源功率(如电子枪束流)以期稳定速率。
晶控没有也并不需要真空度(互锁除外) 和光斑信息，也不关心你的材料状况。
它最最关心的是晶振片频率变化的信息，其他需要用户关照。

xiaohuilee · 发表于 2012-2-11 21:19:17

otxtc 发表于 2012-2-9 11:06
晶控设定 Rate 值就是用户设定的材料速率值。
成膜过程中，晶振片的频率变化加上事先设定好的材料参数， ...

非常感谢你的晶振片的频率变化加上事先设定好的材料参数，就能得到当前的速率。这句话真的是让我茅塞顿开。我一直都以为是我们设置的能控制着当前的速率呢。原来如此。再次谢过

想夜的雨 · 发表于 2012-2-19 00:04:01

膜料的蒸发属于PID回路控制，RATE是设定目标值，如果达不到这个值，电子枪功率会一直在增加，所以光斑校正后，RATE一定要逐步去试验，不然电子枪的寿命会受影响的。

shuangzixing · 发表于 2012-2-21 13:41:06

如果你用的晶控的话很好设定增发功率的。在平稳增发的时候看一下束流表和功率就可以设定预增发和增发功率了

xiaohuilee · 发表于 2012-2-21 19:03:46

谢谢专家的提示，不胜感激

想夜的雨 · 发表于 2012-3-3 22:52:37

电子枪蒸发速率属于PID闭环控制，如果光斑及其他没有问题，手动调试到自然蒸发就可以转换成自动了，

JZNT · 发表于 2012-3-4 13:27:10

学习

gxfdllg · 发表于 2012-3-16 12:31:36

首先确定你要多少的速率来生产？在根据你所需要的速率在慢慢调整功率达到最佳！

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