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[讨论] 五氧化三钛速率多少合适呢?

 火... [复制链接]
发表于 2012-1-31 17:50:53 | 显示全部楼层 |阅读模式
   大伙都说说你们一般镀膜TI3O5速率打到多少啊??我这用的龙翩机,一般打到4-5左百.
发表于 2012-2-1 09:37:23 | 显示全部楼层
JJK   maxtek  晶振片  有需要的吗    15068338773   夏志国  QQ1046118891
发表于 2012-2-1 12:48:23 | 显示全部楼层
和电子枪的性能,

膜料形态,预熔情况有很大关系。

而且和你要镀膜的质量和良率也影响很大。


在不影响质量的情况下,当然是越快越好了。

一般3A/S吧。
发表于 2012-2-1 15:11:08 | 显示全部楼层
3-5A/S
 楼主| 发表于 2012-2-1 17:35:13 | 显示全部楼层
嗯,受教了.
发表于 2012-2-1 18:28:17 | 显示全部楼层
正常情况为:3.5~4A 速率越快,效率越高嘛,但要考虑光洁度。
发表于 2012-2-1 22:32:04 | 显示全部楼层
3-5a/s
发表于 2012-2-2 09:42:53 | 显示全部楼层
发表于 2012-2-2 10:30:40 | 显示全部楼层
龙翩机,一般打到6A/S都可以,Temescal的电子枪的性能很好
发表于 2012-2-2 15:36:16 | 显示全部楼层
根据Prosess,3~5A
 楼主| 发表于 2012-2-2 19:04:02 | 显示全部楼层
本帖最后由 地平线 于 2012-2-2 22:59 编辑

我们用的有JEOL JST-10F/203电子枪,有PLASMATECH,电压在6KV左右,在打TI3O5时,电压在6KV左右,电流打到550A(TI3O5)左右,速率一般在3.5A/S,想问下各位有用同样电子枪的同行,这样打是不是打低了?因为实际我设想如果速率能打到5左右会比较好(速度会快一点),但是电流打大了,又担心电子枪过载太大,发射器钨丝寿命太短.
  请各位赐教了.
发表于 2012-2-5 10:06:19 | 显示全部楼层
有条件的话最好做个实验 每个速率、对应你的产品所需温度等 再对比下光谱  看看折射率、吸收,膜层的微观结构应该是不好搞了。这些资料供应商应该可以提供的,每款机器他们都会做实验对比数据的。
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