滤光片中心波长不稳定

yufe16fisher · 发表于 2012-3-18 09:37:27

最近镀的滤光片，中心波长很不稳定，比如一炉650左右，膜系没动，镀膜参数变化也不大，下一炉642左右，变化很大，每台机器都存在这种情况，会是什么原因导致的呢？

starliu2006 · 发表于 2012-3-19 11:34:06

可惜我不知道，不然告诉你了

cynical33 · 发表于 2012-3-19 18:58:52

这个跟镀膜机关系很大啊，你是什么镀膜机？

longmin · 发表于 2012-3-19 22:28:05

一定要慢慢分析原因

蔻蔻 · 发表于 2012-3-20 09:26:00

说的不错！支持一下！回个小贴表明我来过了！多说句话说明我鉴定通过了！

yuvia_ye · 发表于 2012-3-22 11:15:17

关键你是用什么设备

JINFENG215107 · 发表于 2012-3-22 14:21:14

中心波长漂移原因还真说不清楚，以前解决

都是调参数

JINFENG215107 · 发表于 2012-3-22 14:23:05

对了，可能是真空镀膜室脏了。

yufe16fisher · 发表于 2012-3-22 16:27:54

真空室脏，已排除，南光机

tfc · 发表于 2012-3-22 23:04:46

请列出3天内各台机器每炉的波长位置，标注每炉出炉时间是当天的几点钟

nigoleo · 发表于 2012-3-25 23:30:16

看看冷却水水温，超净间的温湿度变化

xiao2011 · 发表于 2012-3-26 21:51:13

[讨论] 滤光片中心波长不稳定