SIO蒸发源选用

tfc · 发表于 2012-3-31 08:09:30

镀到基片上是SIO，一般用三种方法：电阻蒸发、电子枪、磁控

E501559 · 发表于 2012-3-31 10:20:29

又学习了，不这么说，哪有这么多大师们捧场啊，谢谢啦！

ipshjh2005 · 发表于 2012-5-6 19:41:56

wdydede · 发表于 2012-5-12 20:40:54

SIO用电子枪可以蒸发，束流不能大，易跳点

qs2784 · 发表于 2012-6-21 21:49:44

冲氧不用吧电子枪蒸发肯定可以

zhangxiaojing82 · 发表于 2012-10-6 16:21:52

大家有没有辉光镀sio的

dyfdudu · 发表于 2012-10-10 16:25:53

用电子枪蒸发，光点不要直接打到药品上面，这样容易飞溅。可以用电子枪蒸发防水药片的办法

ZWP5602 · 发表于 2012-10-11 00:07:39

谢谢了

lzk010 · 发表于 2012-12-25 11:06:19

HGcoating 发表于 2012-3-29 09:17
SIO充氧气会变成什么。。。。。注意此材料折射率变化很大

用SIO镀膜的时候充氧气镀的膜成分为SIO2，需要的氧气分压很小（文献资料）。您知道哪里可以帮忙镀膜吗？谢谢！

lzk010 · 发表于 2012-12-25 11:09:30

缘睐汝痴发表于 2012-3-29 19:09
SIO是升华的哇，所以不用预熔，当然更不会融到一起了，是不是也可以用电子枪呢，只能说用电子枪只是比较浪 ...

用SIO镀膜的时候充氧气镀的膜成分为SIO2，需要的氧气分压很小。即使不添加氧气，由于抽真空不纯，会形成SIOX,X约1.5（文献资料）。按你的意思，一氧化硅镀膜后，膜的成分是什么？

lzk010 · 发表于 2012-12-25 11:15:55

qjy 发表于 2012-3-30 08:48
谁说镀SiO必须充氧？胡说八道。在可见区代替SiO2使用时要充氧没错，否则镀出来的是SiO，膜层发黑有吸收。 ...

您好，请问您是否能帮忙镀膜？还有一氧化硅镀膜时，绝对不含氧气应该很难，文献中提到残留的少量氧气将一氧化硅部分氧化。添加少量氧气将形成二氧化硅膜。这么说，加适量氧气应该正常吧。

HGcoating · 发表于 2012-12-26 08:59:27

lzk010 发表于 2012-12-25 11:06
用SIO镀膜的时候充氧气镀的膜成分为SIO2，需要的氧气分压很小（文献资料）。您知道哪里可以帮忙镀膜吗？谢 ...

我每天都在镀。。。。呵呵

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