如何测量几个nm薄膜的厚度？

coatingli · 发表于 2004-8-26 18:35:00

试试用原子力显微镜！

yh15430 · 发表于 2004-8-26 19:27:00

测量的目的是什么？

sswh · 发表于 2004-8-26 20:32:00

几nm是台阶仪的误差范围了，多测几次看大概的厚度应该可以吧

zhangqf2000 · 发表于 2004-8-27 18:34:00

不知测这个的用处和目的，镀膜机里是用晶控来测膜厚的。

wish · 发表于 2004-8-27 21:58:00

晶控的测量精度没有这么高吧？？？只能是大概值

lh040805 · 发表于 2004-8-27 22:52:00

晶控可能比光控精确多了啊，晶控的单位是埃，加上操作误差，在几纳米之内应该差不多啊

光控是个大概还差不多啊

ippsong · 发表于 2004-8-27 23:05:00

用橢偏儀應該可以吧.

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