求助，镀膜后麻点！！！！

fibercoating · 发表于 2012-4-24 20:40:10

本帖最后由 fibercoating 于 2012-4-24 20:42 编辑

光纤镀AR膜，镀膜后40X显微镜观察，表面有密集白点，百思不得其解，难以分析出原因，求助

镀膜机配置：国产南光+国产EB+国产考夫曼源+国产TI3O5

最郁闷的是此情况不定期产生，基本就吃出现问题后清洁离子源和更换铝箔，但不知道能保持几炉。请各位同行帮忙分析下，图片是800倍CCD观察。

fibercoating · 发表于 2012-4-24 20:43:18

麻点很小，估计绝大部分都不超过2um

ZHJ7239 · 发表于 2012-4-24 21:32:31

原因应该在离子源或电子枪上

nkclone · 发表于 2012-4-25 00:01:01

电子枪吧。

guhua530 · 发表于 2012-4-25 07:41:39

tfc · 发表于 2012-4-25 07:50:09

国产考夫曼源，栅极小孔没有完全对准，容易出这样情况，先检查两片细孔的状况，用放大镜仔细观察一下

gxfdllg · 发表于 2012-4-25 08:33:05

看看前一站工序又有没有出现异常，国产的药不是很好，看看能不能用进口的药材这样会跟好点！

fibercoating · 发表于 2012-4-25 11:45:24

TI3O5现在只有一种，暂时也换不了，关键是麻点时有时无，这个很郁闷，又找不到确切的原因，现在就怀疑离子源脏污，电子枪枪头脏，还有充氧管出气孔脏。

fibercoating · 发表于 2012-4-25 11:47:31

tfc 发表于 2012-4-25 07:50
国产考夫曼源，栅极小孔没有完全对准，容易出这样情况，先检查两片细孔的状况，用放大镜仔细观察一下

谢谢你提的建议，这个之前倒是没注意，就以为是栅网表面脏污会造成。

fibercoating · 发表于 2012-4-25 16:17:38

彩色显微镜下看起来是红点，请各位帮忙分析一下。

zouyou828459 · 发表于 2012-4-25 20:11:21

fibercoating 发表于 2012-4-25 16:17
彩色显微镜下看起来是红点，请各位帮忙分析一下。

请问这种光洁度能达到多少，我公司镀出来的膜可没有像你那样用仪器观测哦，她们检验是直接用激光灯照射然后肉眼观看，请大家说说这两种方法有差距吗？差距是多大，欢迎讨论啊。

killjackson · 发表于 2012-4-27 14:01:08

Ti3O5有问题，要换掉

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