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[技术] 镀铝问题

 火... [复制链接]
发表于 2012-5-7 09:07:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教下各位大侠,我们有台1200的镀膜机,镀出的反光膜,总是有一层恢或小恢点,用酒精乙醚擦不掉(700的机器就没问题),不知道怎么回事,请高手指教(清洁做了几次,离子原也开了20分钟左右,加热抽了几个小时潮气都试过),镀的是铝和SiO2(Al2O3也试过)
发表于 2012-5-7 14:39:10 | 显示全部楼层
把铝的蒸发速率调小点。试试
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发表于 2012-5-18 08:44:21 | 显示全部楼层
是不是离子源开的时间太长了。还有就是离子束流太高
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发表于 2012-5-27 15:28:49 | 显示全部楼层
是不是机器清洁不干净?
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