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[讨论] 膜强度求教

 火... [复制链接]
发表于 2012-5-8 16:36:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近镀R较小的凹面不瞅玻璃镜片时,膜强度不够,边缘膜脱落,请教各位同仁产生的原因及解决方法。先谢谢各位了。
发表于 2012-5-10 11:37:43 | 显示全部楼层
有用离子源吗?温度、速率、O2是多少?
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 楼主| 发表于 2012-5-11 10:54:02 | 显示全部楼层
有用离子源,温度260度、速率3-5、O2是多少8.0*10-5troo
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 楼主| 发表于 2012-5-11 10:56:56 | 显示全部楼层
有用离子源,温度260度、速率3-5、O2是8.0*10-5ttorr
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 楼主| 发表于 2012-5-11 10:58:19 | 显示全部楼层
强子 发表于 2012-5-10 11:37
有用离子源吗?温度、速率、O2是多少?

有用离子源,温度260度、速率3-5、O2是8.0*10-5ttorr
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