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Metal-Bonding方面的资料

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发表于 2004-8-30 17:58:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
求助，有那位高手知道有关Metal-Bonding方面的资料
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发表于 2004-8-30 18:54:00 | 显示全部楼层

是超声bonding吗 ？

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 楼主| 发表于 2004-8-30 19:21:00 | 显示全部楼层

目的是把Si wafer 和GaAs wafer 用金属经加热和抽真空贴在一起。

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发表于 2004-8-31 03:11:00 | 显示全部楼层

做混合集成？

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 楼主| 发表于 2004-8-31 20:32:00 | 显示全部楼层
大功率LED
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