[讨论] ITO镀多少厚度电阻能达到100欧姆

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发表于 2013-7-10 16:39:44 | 显示全部楼层
磁控溅射 250A左右
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发表于 2013-7-18 10:17:39 | 显示全部楼层
使用什么机器  ?蒸镀的话25nm,J溅镀23nm 左右,充氧量要控制
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