MB线切割硅片工序操作规程

jasonccool

硅片切割是光伏产业链中非常重要的环节，硅片切割的好坏直接影响下游的电池制作，切片工艺的高低决定企业的生产成本。目前国内使用的切片机主要有瑞士的HCT，德国的MB以及日本东钢的切割机，下面介绍德国的MB切片机的工艺。

        一、配置晶棒

　　根据切方工序提供的《领取晶棒记录表》配置所需晶棒。需要由若干小段晶棒拼凑成一组长棒时，每组相同位置所对应的晶棒之间长度差距不得超过10mm。每个位置的晶棒不得超过4段。每组晶棒总长度不低于450mm，不超过515mm。配置完毕后将晶棒棒号、长度、所在位置填写在《粘晶棒记录表》上。

　　二、领取晶棒

　　根据《粘晶棒记录表》所配置的晶棒棒号在切方工序领取晶棒并在《领取晶棒记录表》上签名。领取的晶棒根据《粘晶棒记录表》上所标位置摆放在粘晶棒工作台上，并保持清洁。领取晶棒时发现晶棒上有油污，硅粉，水渍等脏物时此晶棒便不得领用，向主管领导反应，等切方工序将晶棒清洁干净后再领用。



MB硅片线切割机

　　三、粘连晶棒

　　将金属垫条放置在粘晶棒限位器上，一边紧靠定位螺钉。用无水酒精清洁金属垫条与玻璃垫条待粘表面，调配15克胶和15克固化剂，搅拌均匀，均匀的涂抹在金属垫条上，然后将玻璃垫条放在上面，用力挤压移动玻璃垫条，使玻璃垫条和金属垫条之间的空气全部排出，充分接触。然后压上重物，等待20分钟。取下重物，用无水酒精清洁玻璃垫条和晶棒待粘表面。根据晶棒长度调20~25克胶和20~25克固化剂，搅拌均匀后均匀的涂抹在玻璃垫条上，将晶棒放在上面，用力挤压移动晶棒，使其中的空气全部排除，充分接触，然后压上重物，等待20分钟后翻转过来，将夹持导轨放置在金属垫条上，用40牛的力上紧5个涂抹过黄油的螺栓，放置6小时后用于切割。
　四、搅拌浆料

　　根据切割晶棒的总长度用计算软件计算需要的乙二醇和碳化硅，填写在《搅拌浆料记录表》上。先用气泵将乙二醇抽入搅拌器中，然后将碳化硅缓慢均匀的倒入搅拌器中，连续搅拌4小时以上，用测流速专用工具测量其流速，时间在30~40分钟为合格。

　　五、切割前准备步骤

　　1、按F14，F6 将冷却水开关全部打开，在执行此命令前，要检查外界的冷却系统是否打开，并检查进水口水压在 2 - 4 bar。

　　2、检查切割线网上是否有跳线，并将跳线固定好。从机器中将所有掉落的晶片清理干净，并将线网下方的过滤网清洁。

　　3、按F15 检查右侧放线轮上的切割线的长度（ 》210km），如果长度不够，请更换新的足够长的线，同时要调整放线轮的参数（直径、线长--km）。按F15 检查左侧收线轮上线的长度（《430 km），如果长度已超出，请更换新的收线轮，同时要调整收线轮的参数（直径、线长--km），并在新的收线轮上预先绕上1km的线（手动执行）。（如出现收线轮线长的报警等，可将收线轮上的线长临时改为2km， 待正常后，再将其改回正确的值。）。

　　4、检查小的导线轮，如果有损伤等情况时，可将其更换，正常切割10次左右后，将其更换。

　　5、将左、右侧的门关闭。

　　6、检查浆料供给是否正常 （向前、向后）？

　　7、检查浆料罐浆料过滤器的压力（最大不要超过： 0.5 bar，否则要更换新的过滤袋）。

　　8、检查浆料的喷嘴是否被堵住？如果不是很干净，请将其清洗干净。

　　9、将所有工件的夹紧部位清洁， （较长晶棒的一侧紧靠活动轴承一侧） ，并将其锁紧。

　　10、检查冷却水的温度在切割时不要超过19ºC （按F14，àB1701）。检查柜内的冷却水系统的压力必须分别在：最低 5 bar； 2.5 bar； 5 bar. （冷却系统必须全部打开）。

　　11、按F11，F4 检查浆料的密度是否在范围内？ （=1.65 ± 0.001kg/l）

　　12、按F11/S10 检查浆料的温度及其设定值 “Set” 是否正确（25.4°）

　　13、按F12 检查切割的工艺参数 （是否为正确的切割过程参数）

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　　14、按F13 检查工件进给的调节因子是否设定在 100%？按F13 检查所有工件是否被锁紧？并调整设定切割时的零点（按F5，降低工作台）。调节上工作台面，按F9 先释放夹紧，再手动转动机器右侧的手轮，调节结束后，并将工作台再次锁紧。按F13/S3 检查工件的位置是否回到 2.000mm处？按F13/S10 检查在切割时的进给速度是否设定为：1mm/min？

　　15、按F14/S10 检查轴承和马达的温度设定值 “Set” 是否正确（23°）？

　　16、按F15 检查线速度的调节因子是否设定在 100%？按F15 检查向前/向后进线的按钮应没有被激活（F5）？按F15 检查切割进线的方向设定是否正确 （F6， 向左侧进给 “ß”）？按F15 检查断线检查键应被激活 （F8）？按F15检查接地检查键应被激活 （F9）？按F15/S10 检查线的张力（自动模式下）设定值是否正确 （应为：35N）？按F15/S10 检查线速度在自动模式下设定是否正确（应为：12m/s）？

　　17、按F16/S10 剩余时间值是否正确？在开始自动切割前检查不允许有报警信息存在。将门用钥匙关闭并锁紧（off 侧），并将钥匙取出保管好。在按“自动开始切割模式“后将最顶层画面显示在窗体上，并确认切割时间是否正确？在按“自动开始切割模式“后将最顶层画面显示在窗体上，并确认此次切割所要消耗的线长是否正确？

　　18、开始切割。按“《-》”按钮。

　　六、切割中注意事项

　　在切割过程中要观察机器的运行状况 （轴承的温度；浆料的温度/ 浆料的流量；线的张力等。

　　七、切割后检查步骤

　　1、在切割结束时，按“ENTER”键确认信息；

　　2、在顶层画面按F3 键，将自动模式改为“SETUP”模式；

　　3、用钥匙将门解锁（to “ON” side）；将前门打开；

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　4、检查晶棒是否被完全切透成薄片；（如果没有，请在profile里将切割结束的位置再向下切 1mm ，最低位置设定为： –133.5 mm ，并继续运行切割。）

　　5、按F13，S10，将进给速度降为： 20mm/min ；在手动模式下，按S13，升起切割后的晶片，将工作台升到 》 +1mm.同时要检查所有的切割线在升起过程中正常。按F13， S2 。使返回工作台按钮闪烁，并将作业台自动回升到装/卸工件的位置。

　　6、将工件解开缩紧。

　　7、将工件从机器中取出。

　　8、关上前门。

　　八、脱离硅片

　　两人各持夹持导轨的一端，将晶棒移出泡片盒，来到脱胶水槽上方，用力将晶棒翻转过来，放在水槽中。先用洁净的冷水冲洗硅片，将付着在硅片上的浆料冲洗干净，然后用65度的热水浸泡，使胶软化，硅片能从玻璃垫条上取下来。注意热水不能飞溅到硅片上，热水也不能浸泡到硅片上。取下的硅片按《粘晶棒记录表》的顺序摆放在盛有清水的容器中。将脱离硅片的夹持导轨从脱胶水槽中取出，松开螺栓，取下导轨，将玻璃垫条和金属垫条放在脱胶加热器上准备脱胶。

　　九：脱离玻璃垫条

        打开脱胶加热器，等待30分钟左右，用小铲插入玻璃垫条和金属垫条之间，使玻璃垫条和金属垫条分离。脱离下的玻璃垫条丢弃，将金属垫条上固化的胶清理干净，冷却后等待下次切割。

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jasonccool 发表于 2012-7-5 15:03
　4、检查晶棒是否被完全切透成薄片；（如果没有，请在profile里将切割结束的位置再向下切 1mm ，最低位置设 ...