修正板的问题

ouyuu · 发表于 2012-10-27 21:07:32

tfc 发表于 2012-10-27 11:28
如果专门去研究修正板的公式，也不是不可能出公式的，但这时膜料及其蒸发速率要选择好，修正板离坩埚一定距 ...

是的，实际上是有公式，但复杂的很。
分布符合流体力学，但离子不同，分子量和电荷，初速度均不同，
需要每种离子都进行一种建模。
另外影响的因素有，腔体的形状，抽气口形状，抽气能力，
料板（也有称伞架的）高度，形状，修正板高度，角度等等。

仅仅把这些都测量一遍的时间，我十套修正板都做好了。

真正有水平的人，不会靠贬损别人来提高自己。

ZHJ7239 · 发表于 2012-10-27 21:23:59

均匀性的好坏，修正板修好固然重要，但泵的抽气稳定性、沉积速率、离子源的稳定性、电子枪等影响均匀性的因素很多

贼头 · 发表于 2012-11-17 21:07:06

LOUYC · 发表于 2013-7-23 10:11:00

方法没有好坏。适合自己的就好

liul · 发表于 2016-4-1 21:29:44

tcyt333 · 发表于 2016-12-13 16:35:23

厂家没把均匀性给你修好，你怎么通过设备验收的呢

MorningTech · 发表于 2016-12-16 09:21:36

现在国内镀膜机厂家大多会修了，你提出来。
管膜系和均匀性的还不多，要努力。

上海膜林科技有限公司，专业于石英晶体膜厚控制仪.

那些年~那些天~~ · 发表于 2017-7-5 16:13:11

镀镀多层试试，修到你崩溃都修不好

MorningTech · 发表于 2017-7-6 08:56:27

前面朋友说的好，机器稳定性很重要，它是多方面因素组成的。
尽量保证机器稳定与重复，不然真会遇到多层就崩溃。

上海膜林科技有限公司，专业光学镀膜膜厚控制仪研制商。

update · 发表于 2017-7-21 09:59:24

轩zjw哥 · 发表于 2018-10-21 08:56:28

[技术] 修正板的问题

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