薄膜的xrd测试？

xiaolvzi · 发表于 2004-9-3 05:15:00

薄膜的xrd测试有什么特殊要求吗？由于基底是晶体，其强度远大于薄膜，就好像没有薄膜的衍射峰，但又要分析薄膜的物相结构，我应该怎么办？

toyle · 发表于 2004-9-4 01:34:00

可能是你的xrd的档次太低，找个好点的xrd能测出来的

hydralisk-1 · 发表于 2004-9-4 20:01:00

我做过晶体上生长的单晶薄膜的XRD，一般的XRD机都能测，晶体基底的衍射蜂不会把薄膜的衍射蜂给覆盖的，关键是机器的精度要高点，如果基底衍射峰和估计的薄膜的衍射峰离的比较远就没关系。你可以先做一个基底的XRD扫描，然后再镀膜后扫描一次，对比看就比较清楚了。如果薄膜是非晶的，那峰可能会比较多比较杂强度也不会很大，如果是单晶膜第一第二第三衍射峰都是比较容易看到的。扫15度-80度就够了，如果有必要还可以扫2倍角度

eagle1 · 发表于 2004-9-5 05:30:00

如果确实看不到，退或一下再看看。

xiaolvzi · 发表于 2004-9-6 06:23:00

如果膜有裂纹，会影响xrd的测试吗？另外，为什么2倍扫描会好些呢？多谢了！

xiaolvzi · 发表于 2004-9-6 06:25:00

退火后我也试过，可薄膜的峰还是太弱！

heyanch · 发表于 2004-9-8 18:40:00

以下是引用xiaolvzi在2004-9-5 22:25:09的发言： 退火后我也试过，可薄膜的峰还是太弱！

你的膜层多厚?

薄膜的xrd测试？

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